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发明名称
LIQUID COMPOSITION FOR IMMERSION LITHOGRAPHY AND LITHOGRAPHY METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060002456(A)
申请公布日期
2006.01.09
申请号
KR20040051502
申请日期
2004.07.02
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
KONG, KEUN KYU;KIM, HYOUNG RYEUN;KIM, HYEONG SOO;JUNG, JAE CHANG
分类号
G03F7/004;G03F7/20
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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