工件搬运装置

摘要

〔课题〕提供一种即使朝工件收纳沟的工件装填率变动，也可以稳定化工件收纳内部的吸引压力的变动的工件搬运装置。〔解决手段〕工件搬运装置是具备：载置台底基2、及可旋转自如地配置于载置台底基2上且在外周缘设有复数工件收纳沟4的搬运载置台3。载置台底基2之中，在搬运载置台3侧的面设有环状负压沟9，搬运载置台3之中在载置台底基2侧的面设有吸引于沟5。在载置台底基2设有：与吸引沟5连通的环状大气沟11、及与大气侧连通的第1大气导入孔。