| 摘要 |
本发明系提供一种矽溶胶及其制造方法，其目的在于可以较佳地采用被要求须要高纯度之电子材料或矽晶圆等的研磨材等之素材，而且，凝胶的稳定性优越，矽浓度容易具有高浓度化，并能够调制成与溶性玻璃所制造之矽溶胶同等以上的矽浓度。其系将矽微粒子分散在水中所成之矽溶胶，特征在于该矽微粒子之二次粒子直径为10～1000nm，金属杂质含有量为1ppm以下，矽浓度为10～50重量％。又，一种稳定的矽溶胶之制造方法，其特征为包含：(a)将能够加水分解的矽化合物进行加水分解及重缩合予以制造矽溶胶之第一步骤；以及(b)将第一步骤所获得之矽溶胶对应其粒径在一定矽浓度以下进行浓缩并且将矽溶胶中的分散剂及硷性催化剂在水中置换，使pH成为6.0～9.0之第二步骤。 |
