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发明名称 PLASMA FLOOD GUN FILAMENT INSULATOR OF HIGH CURRENT ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 KR20060019301(A) 申请公布日期 2006.03.03
申请号 KR20040067912 申请日期 2004.08.27
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SHIN, DONG WOO;CHA, KWANG HO
分类号 H01J37/30 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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