PROCEDE ET DISPOSITIF DE MESURE DE L'ENERGIE D'ADHESION

摘要

L'adhérence entre deux couches, en particulier deux couches minces d'un dispositif microélectronique, est une donnée importante. Il a été trouvé que le taux de fermeture de l'interface permettait de déterminer, de façon non destructrice, une mesure de l'énergie d'adhésion.Un procédé et un dispositif utilisant une grandeur caractéristique de ce taux sont décrits, en particulier utilisant la réflexion des rayons X à faible incidence et la densité électronique à l'interface.