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发明名称
METHODS FOR PLANARIZATION OF GROUP ? METAL-CONTAINING SURFACES USING OXIDIZING GASES
摘要
申请公布号
KR100713286(B1)
申请公布日期
2007.05.04
申请号
KR20047009629
申请日期
2002.12.17
申请人
发明人
分类号
B24B37/00;H01L21/302;C09G1/02;C23F3/00;H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;H01L21/8242;H01L21/8246;H01L27/105;H01L27/108
主分类号
B24B37/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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