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发明名称
光罩及使用此制造半导体元件的方法
摘要
一种光罩包括形成于线型图案(41)与岛型图案(43)之间的点型图案(45)。使用此光罩制造半导体元件之方法改良该元件之良率及生产率。
申请公布号
TW200924020
申请公布日期
2009.06.01
申请号
TW097126045
申请日期
2008.07.10
申请人
海力士半导体股份有限公司
发明人
文载寅
分类号
H01L21/027(2006.01)
主分类号
H01L21/027(2006.01)
代理机构
代理人
桂齐恒;阎启泰
主权项
地址
南韩
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