线端间距量测方法

摘要

一线端间距量测方法包括：提供共线的第一条和第二条线于一基材上的罩幕层内。该第一条线在一端具有一第一线端且具有一第一线体邻近于该第一线端,而且该第二条线在一端具有一第二线端且具有一第二线体邻近于该第二线端。测量该第一线体和第二线体的线宽。基于该第一线体的线宽定位该第一线端的实际线端位置,并且基于该第二线体的线宽定位该第二线端的实际线端位置。测量该实际线端位置之间的距离,作为一实际线端间距(LES)。

主权项

一种线端间距量测方法，至少包括：提供共线的第一条和第二条线于一基材上的罩幕层内,该第一条线在一端具有一第一线端且具有一第一线体邻近于该第一线端,而且该第二条线在一端具有一第二线端且具有一第二线体邻近于该第二线端；测量该第一线体和该第二线体的线宽；基于该第一线体的线宽定位该第一线端的实际线端位置,并且基于该第二线体的线宽定位该第二线端的实际线端位置，此步骤包含：对每一第一和第二条线，定位该线端位置，在该位置处那条线的线端具有一线端宽度等于那条线线宽一预先确定的百分比；以及测量该实际线端位置之间的距离,作为一实际线端间距(LES)。