| 摘要 |
본 발명은 글라스기판처짐보완장치 및 이를 이용한 버퍼챔버에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 글라스기판의 하측 면의 일부 부분에 상측단이 접하며, 상기 글라스기판을 받쳐주는 지지체; 상기 지지체의 하측단과 결합되며, 하나 이상의 상기 지지체를 지지하는 지지판; 및 상기 지지판의 하측에 마련되어 상기 지지판과 결합되며, 상기 지지판 또는 상기 지지체를 상측 또는 하측으로 이동시키는 리프트모듈;을 포함하며, 상기 지지판의 상측에는 하나 이상의 상기 지지체가 마련되어 있고, 상기 지지판의 하측에는 상기 리프트모듈이 하나 이상 마련되어 있기 때문에 버퍼챔버 내로 인입된 글라스기판이 자체하중에 의해 처지지 않도록 받쳐줄 수 있으며, 글라스기판의 변형을 억제하여 글라스기판의 변형으로 인한 제품불량이 발생하는 것을 감소 내지 억제시킬 수 있는 기술이 개시된다. |
