| 发明名称 |
Highly sensitive pressure sensor |
| 摘要 |
고감도 압력 센서가 개시된다. 고감도 압력 센서는 기판; 상기 기판 위에 형성되는 복수의 나노 마이크로 구조를 포함하는 나노 구조체층; 상기 나노 구조체층 위에 형성되는 전도층; 및 상기 전도층의 위에 형성되는 전극을 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR101708113(B1) |
申请公布日期 |
2017.02.17 |
| 申请号 |
KR20150074948 |
申请日期 |
2015.05.28 |
| 申请人 |
고려대학교 산학협력단 |
发明人 |
전상훈;김태호 |
| 分类号 |
G01L1/20;B82B1/00;B82Y15/00;G01L1/16;G01L5/00 |
主分类号 |
G01L1/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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