发明名称 TARGET MOUNTING DEVICE FOR SEQUENTIAL SPUTTERING
摘要
申请公布号 US3756939(A) 申请公布日期 1973.09.04
申请号 USD3756939 申请日期 1971.10.14
申请人 MATERIALS RES CORP,US 发明人 HURWITT S,US
分类号 C23C14/34;H01J37/34;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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