发明名称
摘要
申请公布号 FR2177750(A1) 申请公布日期 1973.11.09
申请号 FR19730005440 申请日期 1973.02.06
申请人 IBM,US 发明人
分类号 C25D11/04;H01L21/00;H01L21/28;H01L21/3063;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L1/14;C23F17/00;H01L19/00 主分类号 C25D11/04
代理机构 代理人
主权项
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