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发明名称 AUFFINDEN GERINGER HELLIGKEITSUNTERSCHIEDE IM FERNSEHBILD EINER VORRICHTUNG ZUM ZONENSCHMELZEN EINES HALBLEITERS
摘要
申请公布号 DE2220819(A1) 申请公布日期 1973.11.08
申请号 DE19722220819 申请日期 1972.04.27
申请人 SIEMENS AG 发明人 STUT,HANS;DRAX,HEINZ
分类号 C30B13/28;C30B13/30;C30B15/26;G01B11/02;H01L21/208;(IPC1-7):B01J17/08 主分类号 C30B13/28
代理机构 代理人
主权项
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