发明名称 INFRARED TECHNIQUE FOR MEASURING A PARAMETER EG THICKNESS OF A THIN FILM
摘要
申请公布号 GB1348980(A) 申请公布日期 1974.03.27
申请号 GB19700034994 申请日期 1970.11.05
申请人 INFRA SYSTEMS INC 发明人 BRUNTON DONALD C
分类号 G01B11/06;G01N21/31;G01N21/86;(IPC1-7):G01B11/06;G01B9/02 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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