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发明名称
摘要
申请公布号 JPS4960182(A) 申请公布日期 1974.06.11
申请号 JP19730083935 申请日期 1973.07.25
申请人 发明人
分类号 H01L21/762;H01L21/764;H01L21/8232;H01L21/8248;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/00;H01L29/08 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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