发明名称 DISPOSITIVO PER L ATTACCO CHIMICO E PISCIACQUO DI CORPI PARTICOLAR MENTE DI CORPI SEMICONDUTTORI
摘要
申请公布号 IT975163(B) 申请公布日期 1974.07.20
申请号 IT19720070126 申请日期 1972.10.04
申请人 PHILIPS NV 发明人
分类号 C23F1/08;C23G3/00;H01L21/304;(IPC1-7):C23F/ 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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