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发明名称
DISPOSITIVO PER L ATTACCO CHIMICO E PISCIACQUO DI CORPI PARTICOLAR MENTE DI CORPI SEMICONDUTTORI
摘要
申请公布号
IT975163(B)
申请公布日期
1974.07.20
申请号
IT19720070126
申请日期
1972.10.04
申请人
PHILIPS NV
发明人
分类号
C23F1/08;C23G3/00;H01L21/304;(IPC1-7):C23F/
主分类号
C23F1/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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