| 摘要 |
본 발명은, 목표로 하는 연마 부재의 프로파일을 실현할 수 있는 연마 부재의 프로파일 조정 방법을 제공한다. 본 방법은, 드레서(5)의 요동 방향을 따라서 연마 부재(10) 상에 미리 설정된 복수의 요동 구간 Z1 내지 Z5의 각각에서 연마 부재(10)의 표면 높이를 측정하고, 표면 높이의 측정값으로부터 얻어진 현재의 프로파일과, 연마 부재(10)의 목표 프로파일의 차분을 계산하고, 그 차분이 없어지도록 복수의 요동 구간 Z1 내지 Z5에서의 드레서(5)의 이동 속도를 보정한다. |
