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发明名称
摘要
申请公布号 JPS50103981(A) 申请公布日期 1975.08.16
申请号 JP19740007254 申请日期 1974.01.14
申请人 发明人
分类号 H01L21/822;H01L21/331;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/04;H01L29/41;H01L29/73 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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