| 摘要 |
[과제] 외기와 차단된 측정실 내의 주사 프로브 현미경에 시료대를 반송하여 3차원 이동 기구에 장착할 때, 3차원 이동 기구에 과도한 하중이 걸리는 것을 억제한 주사 프로브 현미경을 제공한다. [해결 수단] 캔틸레버(1)와, 시료대(10)와, 시료대를 이동시키는 3차원 이동 기구(11)와, 외기와 차단 가능한 내부 공간을 갖는 측정실(100)을 구비한 주사 프로브 현미경(200)에 있어서, 적어도 캔틸레버와, 시료대와, 3차원 이동 기구가 측정실의 내부에 수용되고, 측정실은 시료대를 반송하기 위한 한 쌍의 가이드 레일(110)을 구비하고, 시료대는 가이드 레일 위를 주행 가능한 걸어맞춤부(10c, 10d)를 구비하고, 3차원 이동 기구는 소정 위치 근방에 배치되고 한 쌍의 가이드 레일의 사이에 걸쳐 상기 가이드 레일의 상하로 이동 가능하고, 소정 위치로 시료대가 반송되면, 3차원 이동 기구가 가이드 레일의 아래로부터 상승하여 시료대의 하면에 장착되고, 주사 프로브 현미경을 측정 가능하게 한다. |
