发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES RESISTBILDES
摘要
申请公布号 DE2536300(A1) 申请公布日期 1976.04.08
申请号 DE19752536300 申请日期 1975.08.14
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 GIPSTEIN,EDWARD;MARTIN MOREAU,WAYNE;U. NEED III,OMAR
分类号 G03F7/039;(IPC1-7):G03F7/10;G03F1/00 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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