发明名称 METHOD AND DEVICE FOR EMBOSSING A NANOSTRUCTURE
摘要 본 발명은 나노구조 펀치(5)로부터 나노구조(13)를, 기판(7)에 제공된 경화성 재료(8)의 펀치 표면(14)에 엠보싱하기 위한 방법에 관한 것으로서, 상기 방법은, 특히 다음의 순서로: - 나노구조(13)를 펀치 표면(14)에 대해 정렬하는 단계; - 펀치 표면(14)을 엠보싱하는 단계를 포함하되, 상기 엠보싱 단계는: (A) 나노구조 펀치(5)의 변형에 의해 나노구조 펀치(5)에 사전응력을 제공하거나 및/또는 기판(7)의 변형에 의해 기판(7)에 사전응력을 제공하고, (B) 나노구조 펀치(5)와 펀치 표면(14)의 부분 영역(15)을 접촉시키며, (C) 나노구조 펀치(5)에 사전응력을 제공하거나 및/또는 기판(7)에 사전응력을 제공함으로써, 적어도 부분적으로, 특히, 대부분, 나머지 영역(16)을 자동으로 접촉시켜 수행된다.
申请公布号 KR20160145599(A) 申请公布日期 2016.12.20
申请号 KR20167029271 申请日期 2014.04.22
申请人 에베 그룹 에. 탈너 게엠베하 发明人 크라인들, 제랄드
分类号 G03F7/00;H01L21/027;H01L29/06 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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