发明名称 HANDOTAISOCHINO SEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPS5180785(A) 申请公布日期 1976.07.14
申请号 JP19750005461 申请日期 1975.01.10
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 YAMANAKA YOJI;HASHIMOTO TADAHIRO;OKUYAMA YASUSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/265;H01L21/3063;H01L21/308 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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