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发明名称 HANDOTAISOCHINOSEIZOHOHO
摘要
申请公布号 JPS5190271(A) 申请公布日期 1976.08.07
申请号 JP19750014613 申请日期 1975.02.04
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/306;H01L21/3063;H01L21/31;H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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