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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5132550(B2) 申请公布日期 1976.09.13
申请号 JP19730046605 申请日期 1973.04.24
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/283;H01L21/316;H01L21/76;H01L29/00;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/94 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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