| 发明名称 |
METHOD OF COATING AN OXIDE SURFACE WITH A POSITIVE PHOTORESTIST |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB1451375(A) |
申请公布日期 |
1976.09.29 |
| 申请号 |
GB19730057053 |
申请日期 |
1973.12.10 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
G03C1/00;G03F7/085;G03F7/09;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/312;(IPC1-7):G03C1/74 |
主分类号 |
G03C1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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