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发明名称 ION PLASMA GUN FOR USE IN ION MILLING MACHINE
摘要
申请公布号 JPS51138998(A) 申请公布日期 1976.11.30
申请号 JP19760021068 申请日期 1976.02.27
申请人 YUNAITETSUDO SUTEITSU ENAJII RISAACHI ANDO DEV ADOMINISUTOREISHIYAN 发明人 MANFURETSUDO ESU KAMINSUKII;TOOMASU JIEI KIYANPANA
分类号 B23K15/00;H01J27/08;H01J37/08;H05H1/48 主分类号 B23K15/00
代理机构 代理人
主权项
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