| 摘要 |
본 발명은 복수개의 LED를 포함하는 포토리소그래피 노광 시스템의 광원을 조절하는 방법으로서, 상기 방법은: 특정 파장 범위의 개별 LED의 광출력을 검출하는 단계; 및 전체 스펙트럼에 걸쳐 검출된 광출력을 소망된 광출력 분포와 비교하는 단계를 포함한다. LED는 소망된 스펙트럼 광출력 분포가 가능한 가장 정확한 방식으로 달성되도록 동작된다. 본 발명은 또한 복수개의 LED를 포함하는 광원, 개별 LED에 공급되는 전력을 제어하는 제어 수단, 및 개별 파장 범위의 LED의 광출력을 검출할 수 있는 센서를 갖는 포토리소그래피 장치를 위한 노광 어셈블리에 관한 것이다. |
