发明名称 ETCHING SOLUTION FOR CHEMICAL COMPOUND
摘要
申请公布号 JPS5232675(A) 申请公布日期 1977.03.12
申请号 JP19750108795 申请日期 1975.09.08
申请人 SONY CORP 发明人 MORI YOSHIFUMI;SUGAWARA INEKO
分类号 H01L21/308;H01L21/302 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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