| 摘要 |
본 발명은 프리러닝 펨토초 레이저 기반의 실시간 합성파 결정을 이용한 거리측정 장치및 방법에 관한 것으로, 프리러닝하는 펨토초 레이저에서 주파수 모드간의 간섭으로 생성된 긴 파장의 합성파의 파장과 위상을 실시간으로 측정함으로써 고분해능으로 긴 거리를 측정하는 프리러닝 펨토초 레이저 기반의 실시간 합성파 결정을 이용한 거리측정 장치에 관한 것이다. 본 발명은 레이저를 이용한 거리측정 장치를 제안함에 있어서, 프리러닝 펨토초 레이저 광원, 광분할기, 기준용 광검출기, 측정용 광검출기, 주파수 측정부, 위상 측정부 및 거리 산출부를 포함한다. 프리러닝 펨토초 레이저 광원은 레이저 광을 방사하고, 광분할기는 프리러닝 펨토초 레이저 광원으로부터 출사되는 레이저 광을 기준광과 측정표적으로부터 반사되는 측정광으로 분리하고, 기준용 광검출기와 측정용 광검출기는 기준광과 측정광을 각각 검출하여 전기적 신호로 변환한다. 그리고, 주파수 측정부는 프리러닝 펨토초 레이저의 반복률을 측정함과 동시에 추출하고자 하는 합성파의 차수를 결정하고, 위상 측정부는 검출된 기준광 및 측정광을 상기 고주파 신호와 각각 합성하여 합성된 기준광과 합성된 측정광간의 위상차를 측정하고, 거리 산출부는 반복률, 합성파의 차수 및 위상차을 이용하여 상기 광분할기와 상기 측정표적간의 거리정보를 산출한다. |
