CHARGED PARTICLE LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD OF GENERATING VACUUM IN A VACUUM CHAMBER

摘要

진공 챔버(400)는 내부 공간을 둘러싸는 복수의 벽체 패널(510)을 포함하며, 상기 벽체 패널들은 미리결정된 배열구조로 상기 벽체 패널들을 위치결정하는 복수의 연결 부재(504,524,528)를 이용하여 챔버를 형성하도록 제거가능하게 부착된다. 상기 진공 챔버는 상기 벽체 패널들의 엣지에 제공된 하나 또는 그 이상의 실링 부재(522)를 더 포함한다. 상기 벽체 패널들은 내부 공간에 진공이 형성됨에 따라 상기 벽체 패널들의 엣지에 기밀한 진공 씰이 형성되도록 배열된다.