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发明名称
摘要
申请公布号
JPS536513(B2)
申请公布日期
1978.03.08
申请号
JP19740133347
申请日期
1974.11.19
申请人
发明人
分类号
H01L21/208;H01L33/14;H01L33/30;H01S5/00;H01S5/042
主分类号
H01L21/208
代理机构
代理人
主权项
地址
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