| 发明名称 |
APPARATUS FOR MAKING SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5331962(A) |
申请公布日期 |
1978.03.25 |
| 申请号 |
JP19760106538 |
申请日期 |
1976.09.06 |
| 申请人 |
NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
IKIYO MASAYUKI;YAMANAKA MICHITA;HIRAMATSU TSUNEO |
| 分类号 |
H01J37/20;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/265;H01L21/677 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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