摘要 |
Винахід належить до техніки отримання газових сумішей потрібного складу і може бути застосований в різних галузях промисловості, зокрема при метрологічному забезпеченні виробничих процесів в іонно-плазмових технологіях отримання покриттів різного функціонального призначення та ін. Спосіб приготування суміші з N газів заданого процентного складу полягає в попередній підготовці змішувальної камери шляхом здійснення М-кратної подачі до тиску Рв змішувальну камеру з наступним скиданням до атмосферного тиску Ргазу, що має максимальне процентне значення в суміші, кількість подач і скидів газу Μ визначають необхідною точністю вмісту цього газу в суміші при тиску Р, а після підготовки змішувальної камери послідовно подають у неї кожен з N газів до парціальних тисків, відповідних заданому процентному складу суміші, при цьому тиск газової суміші Рв змішувальній камері встановлюють за умови. Спосіб дозволяє отримувати газові суміші зі значно вищою продуктивністю порівняно зі способом-прототипом при одночасному спрощенні реалізації способу. |