发明名称 SOLID DIFFUSION SOURCES FOR PHOSPHORUS DOPING
摘要
申请公布号 GB1517382(A) 申请公布日期 1978.07.12
申请号 GB19750034890 申请日期 1975.08.22
申请人 CARBORUNDUM CO 发明人
分类号 C04B35/622;C04B35/447;C04B35/645;C04B38/06;C30B31/16;H01L21/22;H01L21/223;(IPC1-7):C01B25/42;B01J17/34 主分类号 C04B35/622
代理机构 代理人
主权项
地址