发明名称 PRODUCTION OF MOS SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53129980(A) 申请公布日期 1978.11.13
申请号 JP19770044461 申请日期 1977.04.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 HORINO NOZOMI;SAKAI YOSHIO
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/265;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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