发明名称 PRODUCTION OF JUNCTION TYPE FIELD EFFECT TRANSISTORS
摘要
申请公布号 JPS53129979(A) 申请公布日期 1978.11.13
申请号 JP19770044458 申请日期 1977.04.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 NIINO KAORU;OGURA SADAO;MASAKI MOTOFUMI
分类号 H01L29/80;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/331;H01L21/337;H01L21/8222;H01L21/8248;H01L27/06;H01L29/06;H01L29/73;H01L29/808 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
主权项
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