发明名称 DOUBLE-SIDE POLISHING APPARATUS AND POLISHING METHOD
摘要 [과제] 고경도 재료의 연마도 양호하게 행할 수 있는 양면 연마 장치를 제공한다. [해결 수단] 상정반(44)을 회전시키는 제1의 회전축(45)은, 통형상을 이루고, 상하 방향으로 늘어남과 함께, 상단에 돌리개(46)가 고정되고, 태양 기어(55)를 회전시키는 제2의 회전축(54)은, 통형상을 이루는 제1의 회전축(45)에 회전 자유롭게 삽통되어 상하 방향으로 늘어남과 함께, 상단에 피니언 기어(61)가 고정되고, 태양 기어(55)는, 통형상을 이루고, 제1의 회전축(45)의 상단부 외측에 회전 자유롭게 지지됨과 함께, 내주부에 내치(55d)가 형성되고, 외주부에 캐리어(53)에 맞물리는 외치(55e)가 형성되고, 제1의 회전축(45)의 상부에 공극부가 형성되고, 그 공극부 내에, 태양 기어 구동용의 제2의 회전축(54)에 마련한 피니언 기어(61)와 태양 기어(55)의 내치에 맞물리고, 제2의 회전축(54)의 회전을 태양 기어(55)에 전달하는 유성 기어(62)가 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
申请公布号 KR20160124671(A) 申请公布日期 2016.10.28
申请号 KR20160044726 申请日期 2016.04.12
申请人 FUJIKOSHI MACHINERY CORPORATION 发明人 WADA MASAKI;AKASHIO NORIHIKO;YODA RYOSUKE
分类号 H01L21/304;B24B37/11;H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址