| 摘要 |
램프헤드 및 램프헤드를 이용하는 장치의 실시예들이 본 명세서에서 제공된다. 일부 실시예들에서, 열 프로세싱에서 이용하기 위한 램프헤드는 복수 개의 냉매 통로들 및 복수 개의 램프 통로들 및 리플렉터 공동들을 가지는 모놀리식 부재, 및 모놀리식 부재로부터 각각의 냉매 통로로 연장하는 하나 이상의 열 전달 부재를 포함할 수 있으며, 각각의 램프 통로는 램프를 수납하도록 구성되며 각각의 리플렉터 공동은 리플렉터로서 작용하도록 또는 램프를 위한 교체가능한 리플렉터를 수용하도록 형성되고, 복수 개의 냉매 통로들은 복수 개의 램프 통로들에 근접하게 배치되며, 일부 실시예들에서, 램프헤드는 기판 지지부를 가지는 프로세스 챔버를 포함하는 장치 내에 배치될 수 있으며, 램프헤드는 기판 지지부로 에너지를 제공하도록 위치된다. |
