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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5470772(A) 申请公布日期 1979.06.06
申请号 JP19770137656 申请日期 1977.11.16
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 MATSUO TAKESHI;KINOSHITA HIROSHI
分类号 H01L21/302;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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