发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS54144178(A) 申请公布日期 1979.11.10
申请号 JP19780052376 申请日期 1978.05.02
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HATSUTORI TOSHIHIKO
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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