| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR AND ITS UNIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS54162452(A) |
申请公布日期 |
1979.12.24 |
| 申请号 |
JP19780071732 |
申请日期 |
1978.06.13 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
AKASAKA YOUICHI;TSUKAMOTO KATSUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/20;G01N27/62;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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