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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5518096(A) 申请公布日期 1980.02.07
申请号 JP19780092123 申请日期 1978.07.27
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 AOMURA KUNIO
分类号 H01L29/73;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/331;H01L29/08;H01L29/72;H01L29/78 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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