发明名称 MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5526686(A) 申请公布日期 1980.02.26
申请号 JP19780100314 申请日期 1978.08.16
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 OSHISHIBA KEIMEI
分类号 H01L21/3205;H01L21/306;H01L21/31 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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