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发明名称
複数の基板を位置合わせする装置及び方法
摘要
本発明は、複数の検出装置を用いて第1の基板(15)を第2の基板(15’)に位置合わせして接触させる方法、並びに、この方法に対応する装置に関する。
申请公布号
JP2016529691(A)
申请公布日期
2016.09.23
申请号
JP20160520291
申请日期
2013.06.17
申请人
エーファウ・グループ・エー・タルナー・ゲーエムベーハー
发明人
エーリヒ タルナー
分类号
H01L21/68;H01L21/02
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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