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发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5550635(A) 申请公布日期 1980.04.12
申请号 JP19780123627 申请日期 1978.10.09
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKASHIMA HISAO
分类号 H01L21/76;H01L21/283;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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