发明名称 FLOW CONTROLLER
摘要
申请公布号 JPS5569816(A) 申请公布日期 1980.05.26
申请号 JP19780144634 申请日期 1978.11.21
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 KOMIYA HIROYOSHI
分类号 G05D7/00 主分类号 G05D7/00
代理机构 代理人
主权项
地址
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