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发明名称 REDUCING RESISTANCE OF A POLYCRYSTALLINE SILICON FILM
摘要
申请公布号 GB2035692(A) 申请公布日期 1980.06.18
申请号 GB19790040030 申请日期 1979.11.20
申请人 RCA CORP 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/268;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/42;H01L21/44 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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