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发明名称 AUTOMATISCH ARBEITENDE VORRICHTUNG ZUM AUSRICHTEN EINER PHOTOMASKE
摘要
申请公布号 DE2948646(A1) 申请公布日期 1980.06.19
申请号 DE19792948646 申请日期 1979.12.04
申请人 RCA CORP. 发明人 PETER KLEINKNECHT,HANS
分类号 G03B27/32;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G02B27/00 主分类号 G03B27/32
代理机构 代理人
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