发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5586132(A) 申请公布日期 1980.06.28
申请号 JP19780158536 申请日期 1978.12.25
申请人 HITACHI ELECTRONICS 发明人 TOJIKI HITOMI
分类号 H01L21/8222;H01L21/331;H01L21/76;H01L27/082;H01L29/72;H01L29/73 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
主权项
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