发明名称 PROCEDIMENTO PER L'ASSORBIMENTO DI CONTAMINANTI, DIFETTI O SIMILI IN UN CORPO SEMICONDUTTORE.
摘要
申请公布号 IT8023526(D0) 申请公布日期 1980.07.18
申请号 IT19800023526 申请日期 1980.07.18
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 SCHWUTTKE GUENTER H.;YANG KUEI HSIUNG
分类号 H01L21/268;H01L21/322;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 H01L21/268
代理机构 代理人
主权项
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